關(guān)鍵字:ASML 450mm晶圓 超紫外光 EUV 微影
可想而知許多設備界的高層有多痛苦了。特別是幾年前,芯片制造商又談?wù)摮?50mm晶圓轉移的談話(huà)之際。
許多人打從一開(kāi)始就對450mm能否成真抱持懷疑態(tài)度?,F在看來(lái),450mm是不可避免的,盡管傳統的看法都認為只有少數幾家芯片制造商──特別是英特爾(Intel)、三星電子(Samsung Electronics)、臺積電(TSMC)和 Globalfoundries 等公司有能力建造450mm生產(chǎn)線(xiàn)。
而 且,從提出450mm開(kāi)始,業(yè)界就充斥著(zhù)許多辯論,包括工具供貨商和他們的客戶(hù)將如何分配轉移到新晶圓尺寸的相關(guān)研發(fā)成本。市調機構 Gartner 的分析師Bob Johnson本周說(shuō),450mm的累計研發(fā)成本將達170億美元,而今年度大約占20億美元。而其它機構則有各式各樣不同的預估數字。
一 些剛萌芽的研究項目正在努力進(jìn)行研發(fā),其中包括由英特爾(Intel)、三星電子(Samsung Electronics)、臺積電(TSMC)和 Globalfoundries等芯片巨擘共同組成,耗資48億美元的「全球450聯(lián)盟(Global 450 Consortium)」在內。
但 對部份工具制造商來(lái)說(shuō),這些遠遠不夠。微影設備供貨商 ASML Holding NV公司眼見(jiàn)450mm一再延宕的困境。要轉移到450mm,將會(huì )需要全新的微影設備,以及可支持更大尺寸、重量更重的晶圓,而不會(huì )發(fā)生震動(dòng)的載臺,以避 免因震動(dòng)而導致無(wú)法作出精確的微影曝光。 ASML 公司已經(jīng)預見(jiàn)到,僅有少數芯片制造商會(huì )購買(mǎi)新工具,投資報酬率將非常有限。
當然,ASML早已投入450mm晶圓的研發(fā),但這是在該公司激活一個(gè)創(chuàng )新的客戶(hù)合作計劃,要求希望轉移到450mm晶圓,以及獲得超紫外光(EUV)微影技術(shù)的芯片制造商,也共同投入新技術(shù)的研發(fā)。
本 周一(7月9日),英特爾宣布以41億美元收購ASML公司15%股份,加快450mm和EUV技術(shù)發(fā)展。其中除了超過(guò)30億美元是用在收購ASML股份 外,英特爾也針對新技術(shù)的開(kāi)發(fā)挹注10億美元。當然,英特爾也承諾將進(jìn)一步采購450mm和EUV技術(shù)的開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)工具。
三星、臺積電必須買(mǎi)單
ASML 還將再出售另外10%的股份給其它希望發(fā)展450mm晶圓和EUV微影工具的芯片制造商。該公司目前正在和三星、臺積電討論。若這些公司拒絕或同意參與, 但并未買(mǎi)下10%股份,ASML公司仍愿意出售剩余部份,并將邀請其它公司加入。 (由于A(yíng)SML訂定的條款,英特爾的股份收購上限為15%。)
整件事看起來(lái),確實(shí)像上餐前就先把賬給付掉。但ASML有理由這樣做。 ASML不會(huì )在錢(qián)沒(méi)到位以前就先投資450mm。由于A(yíng)SML在微影市場(chǎng)舉足輕重,因此沒(méi)有ASML投入,450mm就很難發(fā)展。
在 朝450mm 轉移的過(guò)程中,英特爾將獲得最大利益。該公司財務(wù)長(cháng)Stacy Smith表示,預計轉移到450mm將為英特爾節省超過(guò)100億美元的制造成本。因此,英特爾只要求ASML報出價(jià)錢(qián),毫無(wú)疑問(wèn),財大氣粗的英特爾也將 讓想轉移到450mm和EUV微影技術(shù)的競爭對手獲益,因為最終他們也能獲得相關(guān)工具。
英特爾已經(jīng)買(mǎi)下15%股份了。即使英 特爾是唯一一家入股ASML,直接支持其技術(shù)發(fā)展的芯片公司,這家全球最大的芯片制造商也將在每一次競爭對手掏出支票簿來(lái)準備購買(mǎi)新工具時(shí),搶先一步贏(yíng)得 先機。ASML公司發(fā)言人表示,英特爾態(tài)度非常堅定,因為他們看到了開(kāi)發(fā)這些技術(shù)的利益所在。
無(wú)論是三星、臺積電,或是任何 其它的芯片供貨商會(huì )入股ASML公司都有待觀(guān)察。入股ASML確實(shí)有些好處,特別是在英特爾也投下鉅資之際,毫無(wú)疑問(wèn),ASML必然會(huì )開(kāi)發(fā)450mm工具 (還有EUV,盡管該技術(shù)距離成熟還很遙遠)。一旦ASML的工具準備就緒,包括三星、臺積電和其它任何想跟進(jìn)的廠(chǎng)商,都得付錢(qián)購買(mǎi)新工具。
但三星和臺積電將做出明智抉擇,并將參與其中。當450mm工具就緒時(shí),領(lǐng)先的芯片制造商將會(huì )立即需要它們。如果三星和臺積電放棄這個(gè)機會(huì ),他們獲得新工具的順序就會(huì )排在英特爾之后了。
英 特爾已經(jīng)獲得15%的ASML股權,三星和臺積電也都有可能出資買(mǎi)下其它可出售股份,不過(guò)這些都是無(wú)投票權股份。依常理來(lái)看,當客戶(hù)真的決定對設備商挹注 研發(fā)資金共同開(kāi)發(fā)新技術(shù)時(shí),他們通常會(huì )大加宣揚。三星、臺積電和任何其它可能投資的公司若再不展開(kāi)行動(dòng),屆時(shí)就可能會(huì )發(fā)現自己被拒于新技術(shù)的門(mén)外。